晶圆制造物料运输系统实时调度方法

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作者投稿和查稿主编审稿专家审稿编委审稿远程编辑

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晶圆制造物料运输系统实时调度方法

孙寅斌, 吴立辉, 张洁

Real-time Schedule Approach for Material Handling System of Wafer Fabrication

SUN Yin-Bin, TUN Li-Hui, ZHANG Ji

计算机工程 . 2011, (2): 238 -239 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2011.02.083