考虑缺陷率模型的多项目晶圆布图规划算法

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作者投稿和查稿主编审稿专家审稿编委审稿远程编辑

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考虑缺陷率模型的多项目晶圆布图规划算法

张腾，史峥，廖海涛

Multi-project Wafer Floorplanning Algorithm Considering Defect Rate Model

ZHANG Teng, SHI Zheng, LIAO Hai-tao

计算机工程 . 2014, (4): 258 -261,268 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2014.04.050