基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置

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作者投稿和查稿主编审稿专家审稿编委审稿远程编辑

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基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置

李飞;伍乃骐

Virtual Cluster Tool in Wafer Fabrication Based on eM-Plant

LI Fei; WU Nai-qi

计算机工程 . 2009, (10): 232 -234 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2009.10.077