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基于XML的MEMS设计过程描述语言
闫向彤; ;江平宇
MEMS Design Process Description Language Based on XML
YAN Xiangtong; JIANG Pingyu
计算机工程 . 2007, (10): 46 -48 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2007.10.017